用于碳化硅晶圆的减薄砂轮制备方法.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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用于碳化硅晶圆的减薄砂轮制备方法.pdf

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本发明公开了一种用于碳化硅晶圆的减薄砂轮制备方法，包括：根据预定配方对多种原材料进行均匀混合，得到减薄砂轮模块成型料，多种原材料包括细粒度金刚石磨料、辅助磨料、陶瓷结合剂、造孔剂、粘结剂、分散剂、润滑剂；对减薄砂轮模块成型料进行冷压成型得到减薄砂轮磨块生坯，对该生坯进行烧结，其中，按照预定升温曲线进行升温至烧结温度，在烧结完成后进行冷却，得到减薄砂轮磨块熟坯；对该熟坯进行表面处理，得到减薄砂轮磨块；获取砂轮基体并进行去油清洗及干燥处理；将减薄砂轮磨块垂直粘贴在砂轮基体的沟槽内，并进行固化成型及修

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116810674 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310882814.1 B24D 3/34 (2006.01) (22)申请日 2023.07.1