GB/T 30652-2023硅外延用三氯氢硅.pdf

ICS29.045 CCSH 83 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT30652 2023 代替 / — GBT30652 2014 硅外延用三氯氢硅 Trichlorosilaneforsiliconeitaxial p 2023-08-06发布 2024-03-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT30652 2023 前 言 / — 《 : 》 本文件按照 标准化工作导则 第 部分 标准化文件的结构和起草规则 的规定 GBT1.1 2020 1 起草。 / — 《 》, / — , 本文件代替 GBT30652 2014硅外延用三氯氢硅 与 GBT30652 2014相比 除结构调整和 , : 编辑性改动外 主要技术变化如下 ) ( , ); 更改了适用范围 见第 章 年版的第 章 a 1 2014 1 ) ( ); 增加了术语和定义一章 见第 章 b 3 ) ( , ); c 更改了部分技术指标要求 见 4.12014年版的3.2 ) ( , ); 增加了部分项目的试验方法 见第 章 年版的第 章 d 5 2014 4 ) ( , ); e 更改了组批的规定 见 6.22014年版的5.2 ) ( ); f 增加了检验项目 见 6.3 ) ( , ); g 更改了取样和制样的要求 见 6.42014年版的5.3 ) ( , ); h 更改了检验结果的判定 见 6.52014年版 5.4