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《薄膜材料制备及技术》课程教学大纲 （Thin Film Materials and Technology ） 一、课程基本信息 适用专业 材料化学 开课单位 材料科学与能源工程学院 课程类型 专业类课程 课程性质 任选课 是否为双语 否 学分数 2 学分 学时数 总学时32 先修课程 大学物理、材料化学、材料科学基础 后续课程 无 二、课程简述 薄膜材料制备及技术是材料化学专业本科学生的一门专业基础任选课程，本课程旨在培 养学生熟悉能源材料、功能性材料等新材料的制备技术专业理论知识。课程的主要内容包括： 真空技术基础；薄膜制备的化学、物理方法；薄膜的形成及生长；薄膜性能表征；薄膜材料 应用及新型薄膜材料等。薄膜技术与薄膜材料已经渗透到现代科技和国民经济的各个重要领 域，已经成为新材料研究必备的、不可或缺的重要手段之一。 三、本课程所支撑的毕业要求 （一）本课程内容与毕业要求指标点的对应关系 毕业要求 指标点 权重 毕业要求3 ：设计/开发解决方案：能够针对新材料 领域在化学制备与合成的复杂工程问题的解决方 3-1 能够分析材料应用的特 案，设计满足企业生产实践中工艺设计、科技开发、 定需求确定具体的研发目 0.1 工程技术的需求，并能够在设计环节中体现科学创 标 新意识，满足社会、健康、安全、法律、文化以及 环境等方面的要求。 190 毕业要求6 ：环境和可持续发展：能够理解和评价 6-1 了解材料制备工艺流程 针对新材料和化工等行业领域的工程实践和解决 中原料选取、“三废”排放 0.3 方案，对环境保护和可持续发展等方面的影响，正 及工艺环节对环境和社会 确认识工程实践对自然和人类社会的影响。 可持续发展的影响 课程达成度要求 0.4 （二）毕业要求指标点在本课程中的实现路径 通过本门课程学习，掌握的主要知识与理论：真空技术基础，薄膜制备的化学方法、特 点及原理，薄膜制备的物理方法、特点及原理，薄膜的形成过程、生长过程，薄膜技术在新 材料、新器件领域的应用。通过基本知识点及理论的学习，使学生能够对目前广泛研究和应 用的几种主要薄膜材料进行了了解和展望，从而培养学生对工程问题的分析能力及解决问题 的能力。 四、考核方式及成绩评定 （一）考核目标 目标一：掌握本课程的主要知识与理论。 目标二：熟悉能源材料、功能性材料等新材料领域的制备技术。 （二）考核方式 课程论文或设计、操作等方式考察。 着重于考查学生对薄膜材料的制备及技术知识点的理解及实际应用。 （三）成绩评定 综评成绩包括期末考试成绩（占70% ）、平时成绩（占30% ）。平时成绩包括：平时作业、 出勤率、课堂回答问题及讨论等方面。 五、课程内容、重点和难点及教学方法与手段 第一章真空技术基础 重点：掌握真空的基本知识，掌握获取一定程度真空状态的方法和测量手段 难点：掌握获取一定程度真空状态的方法和测量手段 教学方法与手段：本章作为一般性的概念和基础知识，要求学生进行课前预习，课堂讲授 完成；对主要知识点采用启发式、讨论式的教学方法讲授，在此基础上实行翻转课堂教学。 第一节 真空的基本知识 第二节 稀薄气体的基本性质 第三节 真空的获得 第四节 真空的测量