一种SOA芯片光放大检测方法及检测设备.pdfVIP

一种SOA芯片光放大检测方法及检测设备.pdf

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一种SOA芯片光放大检测方法及检测设备,SOA芯片光放大检测方法,包括以下步骤:S1,SOA芯片位置检测;S2,SOA芯片水平面角度调整:调整所述SOA芯片在水平方向上的倾斜角度Angle;S3,SOA芯片偏移量检测:确定所述SOA芯片的水平方向和竖直方向的偏移量;S4,SOA芯片竖直偏移量调整:调整所述SOA芯片的SOA芯片与载台二者之间夹角角度θ,使所述SOA芯片的位置与检测探针相对应。通过上述SOA芯片光放大检测方法,即可实现SOA芯片多角度和位置调整,从而解决现有技术中的检测探针无法有效

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116577070 A (43)申请公布日 2023.08.11 (21)申请号 202310355349.6 G06T 7/60 (2017.01)

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