JB 6922-2004真空蒸发镀膜设备.pdf

ICS 23.160J78中华人民共和国机械行业标准JB/T 6922--2004代替JB/T 6922--1993真空蒸发镀膜设备Vacuum evaporation coating plant2004-10-20 发布2005-04-01实施中华人民共和国国家发展和改革委员会发布 JB/T 6922—2004目次 I11前言范围2规范性引用文件，3型式与基本参数3.1结构形式.3.2基本参数3.3型号，4　技术要求，4.1工作环境条件4.2结构要求.4.3制造要求.4.4安全防护要求.试验方法5.1极限压力测量5.2抽气时间测量，5.3升压率的测量.5.4电阻蒸发源通电试验.5.5电子束蒸发源通电试验5.6镀膜室工件烘烤装置有效加热区均匀度的测量6 检验规则7标志、包装、运输、贮存7.1标志7.2包装7.3运输7.4贮存 JB/T 6922--2004前言本标准是对JB/T6922一1993《真空蒸发镀膜设备》的修订。本标准与JB/T6922-1993相比，主要变化如下：一增加了原标准的“4.1工作环境条件”的内容：增加了4.3.6、4.3.7、4.4.12等条款：纠正了某些错误概念，如将原标准的．“4.2.8·…在产品说明书规定的参数范围内…”修订为“4.2.8·在产品设计要求规定的参数范围内··….”本次修订按GB/T1.1--2000标准对JB/T6922—1993的标准格式进行了调整本标准代替JB/T6922—1993,本标准由中国机械工业联合会提出。本标准由全国真空技术标准化技术委员会归]本标准起草单位：北京北仪创新真空技术有限责任公司、沈阳真空技术研究所本标准主要起草人：周毅、陈月增、王砚龄、李影本标准所代替标准的历次版本发布情况为：JB/T 6922- 1993 11I JB/T 6922—2004真空蒸发镀膜设备 范围本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型式和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存等要求。本标准适用于极限压力在5×10~Pa～5×103Pa范围的真空蒸发镀膜设备（以下简称设备），2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的必威体育精装版版本。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版叛本适用于本标准。GB/T191包装储运图示标志（GB/T 191—2000，eqvISO780：1997）GB/T 6070真空法兰 （GB/T 6070--1995， eqv ISO 1609： 1986， Vacuum technology-Flangedimensions )GB/T11164—1999真空镀膜设备通用技术条件GB/T13306标牌JB/T1090J型真空用橡胶密封圈型式及尺寸JB/T 1091JO型和骨架型真空用橡胶密封圈型式及尺寸JB/T 1092O型真空用橡胶密封圈型式及尺寸JB/T 7673真空设备型号编制方法3 型式与基本参数3.1结构形式设备主要由镀膜室、蒸发系统、真空系统、机架、保护装置及电气控制装置组成，3.2 基本参数设备的基本参数应符合表1的规定。表1项次参数名称参数数值320°、500*、600、630°、700、800*、900、1000°、1200、1350、1600°、镀膜室尺寸mm1800、2000*、2200、2500分档AB极限压力Pa≤5×10-4r-01xsM15M81恢复真空抽气时间min（从大气压至7×10-3Pa)（从大气压抽至7×10°2Pa)升压率Pa/h≤8x10-1≤23工件烘烤装置烘烤温度调节范围室温至200℃、室温至300℃、室温至350℃、室温至400℃有效加热区加热均匀度%S注1：所列镀膜室的几何尺寸，对圆筒式室体为圆简内径：对箱式室体为箱体内腔宽度。带*号尺寸优先选用．其他尺寸和其他结构形式的设备可由制造厂参照上述尺寸决定。专用设备由用户与制造厂另订协议。注2：本尺寸分档作为推荐值，不作考核。 JB/T 6922—20043.3型号设备的型号应符合JB/T7673的规定。4技术要求4.1工作环境条件工作环境条件应符合 GB/T11164--1999中 4.1的规定,4.2结构要求4.2.1设备的结构应布局合理，造型美观，操作方便，便于维修。4.2.2设备中静、动密封的结构形式及尺寸应符合GB/T6070和JB/T1090～1092的规定。4.2.3在低真空和高真空管道及镀膜室上应装设真空规管，分别测量各部位的压力。4.2.4如果设备的真空机组以扩散泵为主泵，应在扩散泵的进气口安装挡板或冷阱。4.2.5镀膜室应有观察窗，对在镀膜过程中发生射线的设备，观察窗上应加