JBT 6847-1993九针打印头测试方法.pdf

JB中华人民共和国机械行业标准JB / T 6841-93电子光学仪器术语1993-07-09 发布1994-01-01实施中华人民共和国机械工业部发布 中华人民共和国行业标准JB/T6841-93电子光学仪器术语1 主题内容与适用范巢本标准规定了电子光学仪器总类、电子光学系统、真空系统、电子学系统、透射电子显微镜、扫描电子显微镜、电子探针X射线微区务析仗和样品制备及其它辅装置等方面的术语共263条。本标准适用于电子光学仪器标准制订、技术文件编制、教材和书型编薄文献翻译等。2电子光学仪器总类2.1电子显微镜 electron microscope按电子光学原理用电子束使样品成象的蔓徽镜。用透过样品的电子束使其成象的电子显微镜。2.3 扫描电子显微镜 scannlng ekectron microscope （SEM）用电子探针对样品表面扫描使其成象的电子显微镶。2.4 扫描透射电子显微镜 scanning transmisslon electron rhicroscop“（ STEM）电子束在样品上方扫描用透过电子进行扫描成象的电子显微镜。2.5电子探针X射线微区分析仪 electron probe X一ray mlcroanalyzer利用电子探针在样品上激发X射线进行微区成分分析的仪器。2.6 电子束曝光机 electron beam exposure apparatus利用电子束扫描在工件上进行微细光刻的装置。2.7电子束加工机 electron beam processing machine利用强电子束流在工件上进行继加工的装置。2-8 反射电子显微镜 reflectlon electron mlcroscope由样品反射的电子束使其成象的电子显微镜。2.9发射电子显微镜 emisston electron mlcroscope由样品发射的电子束使其成象的电子显微镜。2. 10 静电电子显微镜 eletrohstetk electron microscope采用静电式电子透镜的电子显微镜。2.11 扫描隧道显微镜 scanning tuntel microscope（STM）利用隧道电流效应产生扫描图象性显微镜。机械工业部1993-0709批准1994—01-01实施1 JB / T6841 --- 93电子显微镜图象中线性尺寸与相应样品上实际尺寸之比值。6-29 照明亮度 ilumiatlng brighiness落到被照表面上单位面积单位立体角范国内的电束流。6-30 村度 contrast电子图象中亮度的差别。6-31 景深 depth of ffeld电子显微镜的成象平面位置不变，在一段距离内移动物体都能得到清晰的图象·这段距离称景深。6-32 焦深 depth of focus电子显微镜的物平面位置不变，而移动成象荧光屏，在一段距离内能得到咖的象，这段距离称为焦深。6- 33 费涅尔衍射条纹 Fresnal dlffraction string电子束照射在一个不透明的或半透明的边上，明直射被与边缘产生解射领步后产生的条纹。6 34 离焦村度 defocus contras透射电子显微镜图象精确聚焦后：物镜稍徽离焦所形坡的图象衬度称为离焦衬度。6-35 位相衬度 phase contrast电子显微镜在最大故大倍率和最分辩力时：电子束穿避样品后，不同光程电子产生干涉而产生图象颗粒性，称为位相衬度。6 36 电子噪声 electron noise由于电子枪灯丝随机地发射电子，导致电子束本身的不均匀性，称为电子噪声。6- 37 无旋转成象 non .rotatlonal imaging透射电子显微镜改变放大倍率最缕象不发生图象旋转。6 38 灯丝象 fhament Image透射电子显微镜灯丝加热到略低于饱和状态时所见到的灯丝发射象。.6 39 场发射电话象 flekd emssion electron Image灯丝在强电场作用下发射出电子直接形成的电子图象。6.40 弹性散射 elastic scatter散射。6-41 非弹性散射 Inelastic scatter透射电子显微镜人射电子与样品中原子的外围电子散射电子能量损大而散射角度小（10-3）时为非弹性散射。6.42 Zoom透镜 Zoom lens透射电子显微镜成象系统借率改变后，图象仍保持清晰聚焦，称此为Zoon透铺。扫描电子显微镜术语77.1 普及型扫描电子显微镜 popular scanning electron mlcroscope分辨力劣于10nm的扫描电子显微镶。7.2 高性能扫描电子显微镜 high performance scanning electron mieroscope分辨力优于10nm，多功能的扫描电子显