有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及半导体产品制备领域，公开了一种管式扩散氧化炉及半导体扩散氧化设备，该管式扩散氧化炉包括炉管本体；炉管本体包括沿长度方向依次分布的多个加热区段；每个加热区段的管壁上均铺设有多个主加热条，各个主加热条和炉管本体的长度方向平行；还包括在相邻两个加热区段之间的过渡区段沿管壁设置有辅加热环；辅加热环所在平面和炉管本体的长度方向垂直。本申请中在管式扩散氧化炉内各个加热区段之间的过渡区段进一步地设置辅加热环，减小相邻两个加热区段之间的过渡区段的温度存在较大幅度的下降，也即可在一定程度上提升整个管式扩
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116497459 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202310487082.6 (22)申请日 2023.04.28 (71)申请人 滁州捷泰新能源科技有限公司 地址
文档评论（0）