JBT 9341.4-1999计量光栅 玻璃光栅盘技术要求.pdf

ICS 17.180.30JBn中华人民共和国机械行业标准JB/T 9341.4--1999玻璃光栅盘技术要求计量光栅Metrology grating technology -- Technical requirements forgrating disk of glass2000- 01 - 01 实施1999- 08- 06 发布国家机械工业局发布 JB/T 8341.41999前言本标准是对 ZB N34 003-88(计量光栅玻璃光摄盘技术要求的修订。修订时,对原标准作了编辑性修改,主要技术内容没有变化。本标准自实施之日起,代替 ZB N34 003--88。本标准的附录 A 是提示的附录。本标准由全国光学和光学仪器标准化技术委员会提出并归口。本标准负责起草单位：贵阳光电技术研究所。 中华人民共和国机械行业标准JB/T 9341.4—1999计量光栅玻璃光栅盘技术要求代替 ZB N34 003--88Metrology grating technology -Tedh teal requirernentsfor grating dik or 范围本标准规定了计量光栅玻璃光栅盘的技术要求。本标准适用于光栅角位移传感器中作角度测量标准或角位移转换成线位移的传感器作长度测量标准的黑白幅值玻璃光栅元件。2 引用标准下列标准所包含的条文,通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时,所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准必威体育精装版版本的可能性。GB/T15464一1995仪器仪表包装通用技术条件JB/T 9329-1999仪器仪表运输、运输贮存基本环境条件及试验方法3 基本参数及尺寸3.1光栅盘的栅距数(N)应符合表1中的规定。表1橱距数 N栅距数 N栅距数 N角栅距 「角栅距「角榻距「(线对数/周）(线对数/圆周）(线对数/面屑)10015001250015018001212957100*250200016384300204818000723602400216006040025006*2592050*50036003240040°5123640963276860030°50003600036*7205400240*648008007200180655361000819212960010°102490001624001080201000014401510800120*3.2 光橱盘的黑白比(R)规定为 1 : 1.如有特殊要求,设计值不为 1 : 1 时,则应在光栅盘上标出 R 数。3.3光栅盘的尺寸见附录 A(提示的附录)。4 技术要求国家机械工业展 1999 08- 06批准2000 - 01 - 01 实施1 IB/T 9341.419994.1在光盘的分划面上应具备有便于找正的找正标记或基圆线。4.2 对单面读数光栅盘的准确度,以任意两栅线组的最大间隔误整(G,-)表示。其值不应超过表 3A)中的数值;对双面读数光摄盘的准确度,以最大直径间隔误差(g)表示。其值不应超过表 3B)中的数值;对大地测量仪器用光栅盘的准确度,以直径全中误差()表示。其值不应超过表 3C)中的数值。表 3A)准确度级别2345678最大间隔误兹 ,--2.05.010.030.0()60.0120.0裘 3B)准确度级55.010.020.0()一表 3C)准确度级径全中误慈 T,± 0.08± 0.15±0.3± 0.6±1.5()± 0.34. 3 光栅盘在中径位置的黑白比(R)的允许偏差不应超过表 4中的数值。表4%无白比(R)允许偏差的级别允许偏差1± 10± 154.4 光栅盘在整个范围内栅线的光密度(0D)不应小于 1.9。注：以工艺点为准。4.5 光概盘的均匀性误差以在中径位置上的直流电平变化率(81.)来表示,其值不应超过表 5 中的数值。表5%均匀性误差级别810A10204. 6 光栅盘的分划面和透射光情况下使用的非分划面的表面粗糙度 R 的最大允许值为 0. 012umo光栅盘的外径和内径表面的表面粗糙度 R 的最大允许值为 3.2μmc4.7光棚盘分划面的平面度不应超过表 6 中的数值。表 6国光橱中径D.?准确度级刷$ 100 100 ~ 250250栅距数橱距数N摄距数N 21600 3240021600 32400 21600 32400 21600~ 32400 21600 21600 162400~ 32400~ 162400~ 32400~ 162400分划面的平面度m1 ~ 20.0050.0030.020.010.0030.030.020.0053 ~ 40.010.0110.030.020.0060.040.0