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本实用新型提供了一种基于数字全息显微技术的热流体动力学测量装置，装置包括：干涉装置、成像系统、流体控制系统、相移器和待测芯片。其中所述干涉装置包括：连续激光器分光镜、高反镜、物镜、双凸透镜和目镜；所述成像系统包括：面阵CCD、采集卡和电脑；所述流体控制系统由双通道注射泵实现；所述相移器由蛇形微混合器和相移腔室组成，通过微混合器调节相移腔室中流体的浓度以改变折射率来实现相移的调节；所述相移器和待测芯片是由PDMS在硅片上倒模制成的。本实用新型实现了微流控相移元件的集成化，制作工艺简单，工作原理可靠
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214277898 U
(45)授权公告日 2021.09.24
(21)申请号 202022365356.9 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
(22)申请日 2020
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