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本发明涉及一种干涉仪装置（10），其包括干涉仪单元（1），所述干涉仪单元带有基础衬底（2）、法布里‑珀罗‑单元（FPI）并且带有探测器装置（3）、和包括底板（BP）和盖结构（4）的壳体（G），其中所述盖结构（4）布置在所述底板（BP）上并且在盖结构（4）与底板（BP）之间包围成第二空穴（K2），其中所述底板（BP）或者所述盖结构（4）包括被侧壁（5a）环绕的开口（5），所述侧壁相对于所述底板（BP）的或者所述盖结构（4）的表面垂直地延伸；并且其中所述干涉仪单元（1）在所述第二空穴（K2）中且沿穿
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113825988 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202080037708.8 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公
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