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太阳电池的检测方法及检测装置，属于光伏技术领域。太阳电池包括基体，基体包括硅基层、设置于硅基层的第一表面的隧穿氧化层和设置于硅基层的第二表面的覆盖层。检测方法包括：将基体浸泡于刻蚀液，记录刻蚀液未出现冒泡现象的时间，记为第一刻蚀时间。第一刻蚀时间为刻蚀液刻蚀隧穿氧化层的时间，刻蚀液具有刻蚀隧穿氧化层的第一刻蚀速度，利用第一刻蚀速度与第一刻蚀时间之积计算隧穿氧化层的厚度；其中，刻蚀液包括质量浓度不低于1％的NaOH。利用该方法，可以在不需要借助透射电镜等复杂仪器的情况下，快速检测纳米级厚度的隧穿氧
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116344377 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310331837.3 (22)申请日 2023.03.30 (71)申请人 通威太阳能 （眉山）有限公司 地址
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