用于LDI曝光设备的gds图形分割方法.pdfVIP

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2023-06-28 发布于四川
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用于LDI曝光设备的gds图形分割方法.pdf

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本发明公开了一种用于LDI曝光设备的gds图形分割方法，其包括：对所述原始gds图形进行分割处理，以将所述原始gds图形分割形成若干第一矩形块；对每一第一矩形块内的每一多边形电路图形进行多边化处理，以将每一第一矩形块内的每一多边形电路图形分解形成至少一个具有预设边数的多边形；对每一第一矩形块进行分割处理，以将每一第一矩形块分割形成若干第二矩形块；本发明通过对原始gds图形进行分割、分解再分割，以有效将原始gds图形分割形成多个小区域的图形以供后续进行曝光处理，有效提升对原始gds图形中细小图形的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116342625 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310331688.0 (22)申请日 2023.03.30 (71)申请人广东思沃激光科技有限公司地址