一种安全性能高的晶圆承载盘.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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一种安全性能高的晶圆承载盘.pdf

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本发明涉及战略性新兴产业技术领域，且公开了一种安全性能高的晶圆承载盘，包括承载盘，承载盘的顶部开设有置物腔，所述承载盘内开设有内腔，所述内腔的底部设有吸压腔，所述内腔的顶部设有均布的阻断圈和低压圈，所述低压圈的底端开设有均布的吸盘孔，所述阻断圈和低压圈的左右中心固定连接有隔板，所述隔板远离中心的一侧开设有通风口，所述承载盘的内腔中心固定连接有热敏材料棒。本发明通过设计的置物腔、低压腔、吸盘孔，使晶圆置于承载盘中时能通过底部低压腔与空气的压差而被吸在承载盘的凹槽内，使晶圆的外圈不再受到卡槽挤压而带

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113437000 A (43)申请公布日 2021.09.24 (21)申请号 202110575437.8 (22)申请日 2021.05.26 (71)申请人苏雪雯地址 528