载置台、检查装置以及载置台的翘曲的抑制方法.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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载置台、检查装置以及载置台的翘曲的抑制方法.pdf

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本发明提供载置台、检查装置以及载置台的翘曲的抑制方法。抑制将由热膨胀率互不相同的材料形成的构件接合而成的载置台的翘曲。载置台供基板载置，包括：顶板部，在其表面载置基板；光照射机构，其具有多个发光元件，以与载置于顶板部的基板相对的方式配置，利用来自发光元件的光加热基板；以及流路形成构件，其以介于顶板部与光照射机构之间的方式与顶板部的背面接合，在其与顶板部之间形成供能使来自发光元件的光透过的制冷剂流动的制冷剂流路，流路形成构件能使来自发光元件的光透过，顶板部和流路形成构件由热膨胀率互不相同的材料形成

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113406471 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202110261917.7 (22)申请日 2021.03.10 (30)优先权数据 2020-0460