一种金掺杂液相外延碲镉汞材料电学性能稳定性控制方法.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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一种金掺杂液相外延碲镉汞材料电学性能稳定性控制方法.pdf

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本发明提供了一种金掺杂碲镉汞外延材料电学性能稳定性控制方法。本发明针对金掺杂液相外延碲镉汞材料热处理时金掺杂原子向碲锌镉晶体中扩散导致金掺杂碲镉汞外延材料电学参数不受控的问题，其方法包括：在金掺杂碲镉汞材料液相外延生长前，对碲锌镉衬底进行镉饱和退火，消除碲锌镉衬底中的镉空位，控制碲镉汞热处理时金掺杂原子向碲锌镉衬底中的扩散富集。本方法达到了消除碲锌镉晶体中的镉空位的效果，从而控制金掺杂碲镉汞薄膜热处理时金掺杂原子向碲锌镉晶体的扩散，提高了液相外延金掺杂碲镉汞薄膜电学性能稳定性及重复性控制。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113410124 B (45)授权公告日 2022.06.14 (21)申请号 202011156074.6 H01L 31/18 (2006.01)