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一种工件保持夹具(1A),包括第一框体(11)和第二框体(12),两个框体(11、12)分别具有:主体(13);导电构件(15);设置成能与工件(10)的周缘部电接触的接触构件(16);以及遍及主体(13)的整周设置的内周密封构件(17),两个框体(11、12)在各个内周密封构件(17)以及接触构件(16)从两侧与工件(10)的周缘部抵接的状态下构成密封空间,该密封空间对工件(10)的周缘部、两个框体(11、12)的导电构件(15)、两个框体(11、12)的接触构件(16)进行收容,内周密封构件
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113396248 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 201980089814.8 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公
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