基板处理装置、基板处理系统以及对载置台进行对位的方法.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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基板处理装置、基板处理系统以及对载置台进行对位的方法.pdf

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提供能够相对简便地进行载置台的位置调节的基板处理装置。基板处理装置包括分别载置作为处理对象的基板的多个载置台、自下表面侧支承各载置台的多个支柱以及自基端侧支承多个支柱的共用的基台部。位置调节机构具有设于基台部与各支柱之间并固定于基台部侧的固定构件、配置于其上方并对支柱的基端部进行定位而用于调节载置台的位置的位置调节构件以及分别设于围绕在支柱的周围的至少三个部位并以能够调节固定构件与位置调节构件之间的间隙的高度的状态将位置调节构件安装于固定构件的多个间隙高度调节部。多个位置调节机构中的至少一个位置

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113439328 A (43)申请公布日 2021.09.24 (21)申请号 202080014395.4 (74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事