GB/T 42191-2023MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法.pdf

ICS31.080.99 CCSL59 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT42191 2023 MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法 TestmethodsoftheerformancesforMEMS iezoresistiveressure-sensitivedevice p p p 2023-05-23发布 2023-09-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT42191 2023 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅰ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 试验条件及规定 ………………………………………………………………………………………… 1 4.1 大气条件 …………………………………………………………………………………………… 1 4.2 其他环境条件 ……………………………………………………………………………………… 2 4.3 测试设备 …………………………………………………………………………………………… 2 5 试验项目及方法 ………………………………………………………………………………………… 2 5.1 试验项目 …………………………………………………………………………………………… 2 5.2 试验方法 …………………………………………………………………………………………… 2 / — GBT42191 2023 前 言 / — 《 : 》 本文件按照 标准化工作导则 第 部分 标准化文件的结构和起草规则 的规定 GBT1.1 2020 1 起草。 。 。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 本文件的发布机构不承担识别专利的责任 本文件由全国微机电技术标准化技术委员会( / )提出并归口。 SACTC336 : 、 、 、 本文件起草单位 北京大学 中机生产力促进中心有限公司 北京智芯传感科技有限公司 昆山昆博 、 、