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本发明公开了一种用于检测六氟化硫分解产物的气敏传感器及其制备方法,所述传感器中敏感层材料为Co3O4/NiSnO3中空多孔纳米管,该材料采用两步法制得,首先采用静电纺丝法制得NiSnO3纳米纤维,再在其基础上采用水热法制得复合的中空多孔纳米管。本发明的传感器可以最大化的增强对于SO2F2和SOF2的响应值,在50℃下,分别可以达到55和15.28。在比较低的操作温度下,传感器的气敏性能可以明显的提升,表现在具有更高的响应值和不错的响应恢复时间,这可归因于Co3O4和NiSnO3形成的pn结效应,
(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113155913 B (45)授权公告日 2022.07.08 (21)申请号 202110428549.0 US 2005233463
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