有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种改善光刻前层薄膜吸附水导致光刻缺陷的优化方法，确定晶圆基底上需喷涂的标准SOC涂层的厚度T；在晶圆基底上喷涂C1喷量的第一SOC涂层；之后对第一SOC涂层进行烘烤，形成的第一SOC涂层的厚度为T1；利用溶剂或含氧等离子体对第一SOC涂层进行表面处理；在第一SOC涂层上喷涂C2喷量的第二SOC涂层；之后对第二SOC涂层进行烘烤，形成的第二SOC涂层的厚度为T2，并且使得T＝T1+T2；在第二SOC涂层上涂布抗反射涂层，之后在抗反射涂层上旋涂光刻胶涂层，并通过掩膜版对光刻胶涂层进行曝光
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113126441 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 202110330177.8 (22)申请日 2021.03.29 (71)申请人 上海华力集成电路制造有限公司
文档评论（0）