一种异质结太阳能电池及制备方法.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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一种异质结太阳能电池及制备方法.pdf

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本发明属于晶体硅太阳能电池领域，涉及一种异质结太阳能电池及制备方法。针对现有技术中异质结太阳能电池P型掺杂层热稳定性差导致B原子容易扩散进入非晶硅本征层、纯乙硼烷气体掺杂形成的P型掺杂层光学禁带宽度低、高浓度乙硼烷气体掺杂导致掺硼非晶硅的缺陷态密度和发射极复合电流密度增加等P型掺杂层设计不完善的技术问题。本方案提供了一种异质结太阳能电池及制备方法，通过将P型掺杂层设计成叠层结构，包括设置的与本征非晶硅层接触的含三甲基硼气体沉积的第一P型掺杂层，以及至少设置两层含三甲基硼和乙硼烷气体沉积的硼掺杂浓

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113113502 A (43)申请公布日 2021.07.13 (21)申请号 202110510690.5 (22)申请日 2021.05.11 (71)申请人通威