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防底壁损伤硅片的镀膜载板及其制作方法和镀膜设备.pdfVIP

防底壁损伤硅片的镀膜载板及其制作方法和镀膜设备.pdf

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    本申请适用于太阳能电池技术领域，提供了一种防底壁损伤硅片的镀膜载板及其制作方法和镀膜设备。镀膜载板包括：底壁；自所述底壁向外延伸的多个侧壁，多个所述侧壁和所述底壁围成凹槽；设于所述凹槽的垫片，所述垫片用于承托待镀膜的硅片以在所述硅片与所述底壁之间形成间隙。这样，有利于减少硅片损伤。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113106425 A (43)申请公布日 2021.07.13 (21)申请号 202110444090.3 (22)申请日 2021.04.23 (71)申请人 浙江爱旭太阳能科技有限公司

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