一种柔性压力传感器及其制造方法.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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一种柔性压力传感器及其制造方法.pdf

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本发明提供了一种柔性压力传感器以及相应的制造方法，相对于现有的一些具有锥形或球形微阵列结构的触觉(压力)检测器件，在不损失自身功能的前提下明显降低了传感器厚度。针对不同应用领域的需要，本发明所提供的柔性压力传感器可以被制造成具有特定的曲度，以适应各种异形安装面的共形设置，通过调节电容阵列如密度等的排布方式，也可提供不同的灵敏度与分辨率指标，从而大大拓宽了其未来潜在的应用范围。本发明的制造方法相对于现有技术，省略了制备纳米管薄膜或微凸起结构等的复杂工艺，较好地保证了良率。全过程都可采用现有的商业化

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113125054 B (45)授权公告日 2023.03.28 (21)申请号 202010049358.9 (56)对比文件