一种真空设备的角度调节装置.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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一种真空设备的角度调节装置.pdf

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本发明公开了一种真空设备的角度调节装置，所述装置包括：底板法兰；固定杆；联轴器，所述联轴器与所述固定杆的另一端连接，且所述联轴器与样片台连接；支撑架；支撑法兰；丝杆法兰；滑块，所述滑块设置在丝杆法兰上，且所述滑块与丝杆连接；手轮，所述手轮设置在所述支撑法兰上，且所述手轮穿过所述轴承与所述丝杆的一端连接；波纹管，所述波纹管设置在所述底板法兰的下表面，且所述波纹管与所述丝杠法兰同轴连接；连杆，所述连杆的一端与所述波纹管连接，且所述连杆的另一端与所述样品台连接，实现了在不破坏腔室内真空条件下进行角度调

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112853298 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 20191