一种功率器件版图中金属连线的设计方法.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种功率器件版图中金属连线的设计方法.pdf

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本发明提供一种功率器件版图中金属连线的设计方法，功率器件包括至少三层金属，该设计方法中，次顶金属层Mt‑1会在表示相反信号的顶金属层Mt下方形成一个类似于Slot的分布结构，使次顶金属层Mt‑1所表示的信号既有X方向上的连接导通又有Y方向上的连接导通，在顶金属层Mt的下方，第三金属层Mt‑2上的电流直接通过接触孔Vt和接触孔Vt‑1连接导通到顶金属层Mt上，加强次顶金属层Mt‑1在版图中的连接导通能力，缩小了次顶金属层Mt‑1和顶金属层Mt在版图连线中的导电能力差距，从而使整个版图中的电流密度分

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112541320 A (43)申请公布日 2021.03.23 (21)申请号 202011421030.1 (22)申请日 2020.12.07 (71)申请人深圳