一种薄膜渗透检测的多腔测试结构、系统及方法.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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一种薄膜渗透检测的多腔测试结构、系统及方法.pdf

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本公开提供了一种薄膜渗透检测的多腔测试结构、系统及方法，多腔测试结构包括均设有开口的第一腔体、公共腔体和第二腔体，公共腔体位于第一腔体和第二腔体之间，且公共腔体包括多个相互连通的内腔；第一腔体包括至少一个第一内腔，第一内腔开口与公共腔体的内腔开口位置相对，第二腔体包括至少一个第二内腔，第二内腔开口与公共腔体的内腔开口位置相对；此结构最小模块可同时进行两个试样的测试，且保证两个试验腔的测试条件完全相同，以此最小模块为基础，可将试验腔成扩展成4腔或6腔等2的倍数腔设备结构，结构简单、紧凑，操作方便。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112394020 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 202011307922.9 (22)申请日 2020.11.20 (71)申请人济南兰光机电技术有限公司