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2023-05-29 发布于四川
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本发明提供一种探针卡，用以检测待测晶圆，其包含光输出元件可连接于定位元件，该光输出元件设置于具有通孔的电性检测基板的通孔，且以光纤将光输出元件与光源控制单元连接，可将输出光从光源控制单元传输至光输出元件，其中，定位元件可使光输出元件进行三维空间移动或调整与光输出元件的中心轴线的夹角角度，因此在硅光晶圆测试时，可同时进行光检测及电检测。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112415239 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 20191