一种基于铌酸锂薄膜的可调谐FP滤光片.pdfVIP

下载本文档

2
0
约8.81千字
约 8页
2023-05-29 发布于四川
举报
版权申诉

一种基于铌酸锂薄膜的可调谐FP滤光片.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明属于薄膜窄带滤光片技术领域，具体涉及一种基于铌酸锂薄膜的可调谐FP滤光片，包括：衬底、第一金属层、电光可调谐铌酸锂薄膜通光层、第二金属层，通过控制所述第一金属层和第二金属层之间的电压，可以调节所述可调谐滤波器的本发明的可调谐FP滤光片的中心波长。本发明采用的铌酸锂薄膜作为光学干涉薄膜中半波共振腔的腔体材料，其具有较宽的透光窗口、较高的电光系数以及较好的温度稳定性，可以大幅降低窄带可调谐滤波器的光学损耗，同时实现中心波长的可调谐。本发明可以有效改善现有MEMS热光调谐滤波器存在的光损耗大，调

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112394543 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 202011337498.2 (22)申请日 2020.11.25 (71)申请人天津津航技术物理研究所