一种用于表面声波滤波器的具有背面金属层的晶圆及其制造方法.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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一种用于表面声波滤波器的具有背面金属层的晶圆及其制造方法.pdf

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本发明涉及一种用于表面声波滤波器的具有背面金属层的晶圆及其制造方法。一种制造用于表面声波滤波器的具有背面金属层的晶圆的方法，该方法包括：获取透明晶圆；对透明晶圆进行清洗；在透明晶圆的正面涂覆光刻胶；在透明晶圆的背面镀金属膜；以及剥离在透明晶圆的正面涂覆的光刻胶，以制成具有背面金属层的晶圆，其中，金属膜在利用具有背面金属层的晶圆完成相应操作之后被去除。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112397569 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 202011190457.5 (22)申请日 2020.10.30 (71)申请人广东广纳芯科技有限公司