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本发明提供一种无损耗光纤引入真空保护装置及真空设备。保护装置包括紧固螺帽、弹性密封塞、管状接头、金属软管及保护内管;弹性密封塞一端嵌设于管状接头内,另一端嵌设于紧固螺帽内,管状接头部分嵌设于紧固螺帽内且两者螺纹配合;保护内管穿过紧固螺帽、弹性密封塞及管状接头的通孔并向两侧延伸到紧固螺帽及管状接头的外部;金属软管套设于保护内管未与紧固螺帽、弹性密封塞及管状接头相套叠的部分;光纤设置于保护内管中。本发明在将真空端与大气端隔离的同时,可以避免挤压的应力直接作用在光纤上,由此可以避免光纤的折损,可以为光
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112415690 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 202011448187.3 (22)申请日 2020.12.09 (71)申请人 中国科学院上海微系统与信息技术
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