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本发明提供了一种超薄型、耐高温性好、安全可靠、发热效率高、结构简单且耐氧化的发热装置，该装置的制备方法及包含该发热装置的高温加热设备。发热装置包括绝缘基体层（1），在绝缘基体层的一个表面上溅射有二硼化钛半导体膜层（2），在二硼化钛半导体膜层外溅射有抗氧化及绝缘保护膜层（3）；其制备方法为：a.制备绝缘基体层，备好二硼化钛靶材；b.将二硼化钛靶材溅射到绝缘基体层的表面上并制备电极；c.在形成的二硼化钛半导体膜层的表面上再溅射一层抗氧化及绝缘保护膜层（3）；高温加热设备包括主体（4），主体的表面上设
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112251717 A (43)申请公布日 2021.01.22 (21)申请号 202011333021.7 (22)申请日 2020.11.24 (71)申请人 深圳
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