有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种半导体器件的制作方法，包括以下步骤：提供半导体结构，半导体结构包括衬底，衬底包括交替分布的第一区域和第二区域，其中衬底的极性为第一类型；对衬底进行离子注入；在衬底上形成由栅极层和介电层交替堆叠的第一堆叠结构；以及形成贯穿第一堆叠结构的多个第一沟道孔和多个第二沟道孔；其中，离子注入使第一区域的极性为第二类型，且第二区域的极性为第一类型或第三类型；多个第一沟道孔位于第一区域的上方，且第二沟道孔位于第二区域的上方，第一类型、第二类型和第三类型不同。该制作方法提高了半导体器件的可靠性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112259545 B (45)授权公告日 2021.09.10 (21)申请号 202011124400.5 H01L 27/1157 (2017.01)
文档评论（0）