一种三氯氢硅合成炉及合成工艺.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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一种三氯氢硅合成炉及合成工艺.pdf

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本发明公开了一种三氯氢硅合成炉及合成工艺，包括设备支架、水冷控温水箱、旋转反应滚筒、滚筒内部翻料板、过渡进料仓、硅粉缓冲存储罐、二级反应炉体、电热气体加热器、氮气进气阀门、氯化氢气体阀门，硅粉在旋转反应滚筒内通过滚筒内部翻料板翻动，使得硅粉与氮气充分反应，硅粉落入硅粉反应滤网上继续反应；与现有技术相比，本发明的合成炉采用卧式结构，在卧式的旋转反应滚筒中将硅粉与反应气体能够充分接触进行反应，使得反应更充分，反应后再结合传统的过滤式反应进行继续二级反应，更进一步的提高的反应效率，是的反应气体使用充分

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112265995 A (43)申请公布日 2021.01.26 (21)申请号 202011299011.6 (22)申请日 2020.11.19 (71)申请人宁夏福泰硅业有限公司