一种位移装置及磁浮平面电机.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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一种位移装置及磁浮平面电机.pdf

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本发明涉及磁浮平面电机技术领域，公开一种位移装置及磁浮平面电机。其中位移装置包括定子机构和工作部件，定子机构包括至少一个模块组件，模块组件在X方向和Y方向长度相同，定子机构上模块组件的行数和列数相同，X方向和Y方向不相平行；工作部件设置于定子机构的上方，工作部件包括承载台及安装于承载台上的两个第一磁钢阵列和两个第二磁钢阵列，两个第一磁钢阵列沿X方向延伸且在X方向上位置布置彼此偏移，在Y方向上间隔一定的距离；两个第二磁钢阵列沿Y方向延伸且在Y方向上位置布置彼此偏移，在X方向上间隔一定的距离；第一磁

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112234800 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202011461357.1 (22)申请日 2020.12.14 (71)申请人上海隐冠半导体技术有限公司