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本发明公开了一种硅片承载装置，包括由横梁、竖梁连接组成的承载框，横梁、竖梁通过法兰连接；所述法兰包括法兰本体，法兰本体与内侧的横梁固定件焊接，调节螺丝与横梁内孔螺纹连接；横梁端部穿入所述横梁固定件的内孔，止转螺钉顶紧在横梁上，对横梁进行止转固定；横梁上设有槽口，槽口与固定装置位置重合，横梁与固定装置通过焊接固定；所述固定装置上设有二个孔，其中第一个孔用来安装拉筋和放置在承载框上的托盘，第二个孔与第一个孔垂直，第二个孔中安装螺钉将拉筋和托盘顶紧固定。所述硅片放置框上设置有硅片卡点。本发明使用方便，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114783922 A
(43)申请公布日 2022.07.22
(21)申请号 202210399075.6
(22)申请日 2022.04.16
(71)申请人 南通玖方新材料科技有限公司
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