光学膜、溅射靶以及光学膜的成膜方法.pdfVIP

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2023-05-15 发布于北京
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光学膜、溅射靶以及光学膜的成膜方法.pdf

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本发明提供能简便求出成膜条件的光学膜(含有铯、钨以及氧的复合钨氧化物膜)、溅射靶以及成膜方法。本发明的光学膜在可见光波长区域具有透过性、在近红外波长区域具有吸收性、并且具有电波透过性，所述光学膜含有铯、钨以及氧，300nm的折射率n和消光系数k以及按每200nm划分400nm～2400nm的波长区域而确定的各波长[400nm、600nm、……2400nm]的折射率n和消光系数k分别设定为将图1所示的光学常数波长分散图中的折射率的最大值和最小值图示化的“n‑最大值”和“n‑最小值”的范围内、以及将

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114729441 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202080077867.0 (74)专利代理机构隆天知识产权代理有限公司