一种硬质合金刀具表面生长金刚石薄膜设备及生长工艺.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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一种硬质合金刀具表面生长金刚石薄膜设备及生长工艺.pdf

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本发明属于气相沉积金刚石涂层技术领域，特别涉及C23C16/54领域，具体涉及一种硬质合金刀具表面生长金刚石薄膜设备。本发明提供了一种硬质合金刀具表面生长金刚石薄膜设备，包括钟罩和底板，所述钟罩设置为底部开孔的空心腔体结构，所述底板与所述钟罩配合设置，所述钟罩为可升降结构；能够实现在复杂形状硬质合金基体表面沉积高质量大面积金刚石薄膜，本设备可以同时沉积大批量经过预处理的硬质合金刀具作为底材，获取具有一定沉积厚度和质量均匀、耐磨损性能优异的金刚石涂层，大幅度提高硬质合金刀具的使用寿命和可靠性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116043187 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202211243161.4 (22)申请日 2022.10.11 (71)申请人上海东贝真空设备有限公司地址