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本发明提供了一种气相沉积材料生长原位多功能表征系统，包括：气相沉积生长室腔体，待表征的样品位于腔体内部的样品平台上，腔体的壁上设置有数对入射口和出射口；平台联动控制系统，与样品平台相连接，设置在样品平台下方，用于控制样品平台的旋转和水平方向的微移；光源，设置在腔体外部，位置与入射口的位置对应；电子束发射枪，与气相沉积生长室腔体内部相连接，附带有程序控制开关的窗口将其和腔体的内环境隔开，窗口位于腔体的壁上；反应气氛源组件，设置在腔体外部并与腔体内部相连通，用于向腔体中输入反应气体；电子信号探测组件
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116043197 A
(43)申请公布日 2023.05.02
(21)申请号 202310074024.0
(22)申请日 2023.02.07
(71)申请人 复旦大学
地址 200433
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