用于衬底处理系统的衬底支撑件的加热器元件的电源隔离电路.pdfVIP

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2023-05-10 发布于四川
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用于衬底处理系统的衬底支撑件的加热器元件的电源隔离电路.pdf

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一种衬底处理系统包含衬底支撑件和电源电路。所述衬底支撑件被配置成支撑衬底，其中所述衬底支撑件包含一或更多个加热元件。所述电源电路包含：直流‑交流转换器，其被配置成将第一直流电压转换为第一交流电压，其中所述直流‑交流转换器包含至少一个开关；以及隔离电路，其包含耦合电感器或变压器中的一者。所述耦合电感器或所述变压器中的所述一者被配置成将所述第一交流电压转换为第二交流电压，并且将所述一或更多个加热元件与接地隔离。所述电源电路被配置成基于所述第二交流电压而提供输出电压至所述一或更多个加热元件。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114556542 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202080070853.6 (74)专利代理机构上海胜康律师事务所 31263