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2023-05-09 发布于北京
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混合式3D检验系统.pdf

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本发明公开一种光学检验设备，其包含经配置以将相干光束引导向受检验区域且产生所述区域的干涉条纹的第一图像的干涉仪模块。所述设备还包含经配置以将结构化光的图案投影到所述区域上的三角测量模块及经配置以捕捉干涉条纹的所述第一图像及从所述区域反射的所述图案的第二图像的至少一个图像传感器。光束组合器光学器件经配置以引导所述相干光束及所述投影图案射到所述区域上的相同位置。处理器经配置以处理所述第一图像及所述第二图像以产生所述区域的3D图。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114502912 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202080069661.3 (74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限