一种调谐器件及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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一种调谐器件及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种调谐器件及其制备方法，涉及半导体技术领域。本发明的调谐器件，包括薄膜体声波谐振结构和封装结构，薄膜体声波谐振结构包括层叠设置的第一衬底层、底电极层、压电层、顶电极层和第一金属层，封装结构包括第二衬底层和设置在第二衬底层上的第二金属层，第二金属层包括第一子金属层和第二子金属层，第一子金属层和第二子金属层之间设置有电介质层，以使得第一子金属层、电介质层和第二子金属层形成电容，第一子金属层和/或第二子金属层与第一金属层连接以使电容与薄膜体声波谐振结构串联或并联。本发明提供的调谐器件，结

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114337577 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111598028.6 (22)申请日 2021.12.24 (71)申请人武汉敏声新技术有限公司