等离子诱导生长高结晶薄膜电极及薄膜电池的制备方法.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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等离子诱导生长高结晶薄膜电极及薄膜电池的制备方法.pdf

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本发明公开一种等离子诱导生长高结晶的薄膜电极及薄膜电池的制备方法，该制备方法在采用真空物理气相沉积方法制备薄膜电极及薄膜电池的同时，全过程施加定向等离子体流轰击薄膜材料促进薄膜电池集流层、电极层和电解质层高结晶生长。本发明中的制备方法避免了现有技术中必须通过高温退火处理工艺进行薄膜结晶造成的薄膜基底污染、龟裂、工艺兼容性和电化学性能差等问题，突破了现有的技术难题，该方法显著降低了薄膜电极沉积温度，提升电池的低温工艺兼容性；缩短了薄膜电池工序和工时，节约资源降低成本；减小电池的固/固界面阻抗，提升

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114335439 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111650359.X C23C 14/02 (2006.01)