二极管结构及其制备方法、具有二极管结构的装置.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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二极管结构及其制备方法、具有二极管结构的装置.pdf

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本申请涉及一种二极管结构及其制备方法及具有二极管结构的装置。二极管结构包括衬底、第一外延层、第二外延层、正面电极和场板；场板的材质与正面电极的材质相同，且场板和正面电极通过相同的制备工艺形成。上述二极管结构包括正面电极和场板，且其正面电极的材质和场板的材质为相同材质，这样就可以实现在相同的制备工艺中同步制备出场板和正面电极的图形。本申请中的二极管结构在制备时减少了一次单独制备多晶硅材质的场板的工艺。一方面，这样就无需配置用于制备多晶硅的专用设备，或者减少所需要设备的数量，从而可以降低设备成本；另

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114334647 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111665094.0 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人北海