一种激光注入窗口的保护防污装置.pdfVIP

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2023-05-04 发布于四川
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一种激光注入窗口的保护防污装置.pdf

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本发明公开了一种激光注入窗口的保护防污装置，包括两个滚动支架和高透过率薄膜，利用两个滚动支架使所述高透过率薄膜连续滚动，并覆盖在激光注入窗的玻璃窗口内侧；利用所述高透过率薄膜遮挡脉冲激光诱导的粒子，防止窗口污染，保证到靶激光的质量；在两个滚动支架轴向的两侧布置两个导向板，利用所述导向板对卷动的薄膜进行导向卷出与卷入，防止在卷平滚动的过程中发生卷曲、褶皱；在滚动支架上还未使用、未受等离子体污染的薄膜卷方向一侧布置有用于阻隔污染的保护挡板，防止薄膜还未使用即发生污染。该装置能保证注入激光在沉积过程中

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114214594 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111547758.3 (22)申请日 2021.12.16 (71)申请人中国科学院空天信息创新研究院