基板位置检测方法、描绘方法、基板位置检测装置及描绘装置.pdfVIP

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2023-05-04 发布于四川
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基板位置检测方法、描绘方法、基板位置检测装置及描绘装置.pdf

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本发明提供一种基板位置检测方法，包括：保持具有多个基板要素的基板的工序(步骤S11)，多个所述基板要素分别由格子状的预定分割线划分为矩形；分别拍摄选自多个基板要素的两个以上的选择基板要素并获取两个以上的拍摄图像的工序(步骤S12)；使用标准图像对两个以上的所述拍摄图像的每一个进行图案匹配，从而，分别求出两个以上的所述选择基板要素的位置，并检测基板的位置的工序(步骤S13)，多个基板要素分别具有在大致矩形的区域外缘的内侧形成有规定图案的图案区域。标准图像是在区域外缘的各边去除角部而设定的线段的集合

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114253095 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202111107330.7 (22)申请日 2021.09.22 (30)优先权数据 2020-1583