一种用于超快扫描二次电子成像的E-T探测器.pdfVIP

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2023-04-28 发布于四川
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一种用于超快扫描二次电子成像的E-T探测器.pdf

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本发明涉及一种用于超快扫描二次电子成像的E‑T探测器，该探测器包括承载本体、光电倍增管、光导管、闪烁体、栅网和滤光片；所述承载本体内依次设置有光电倍增管、光导管和闪烁体；位于所述闪烁体前方的所述承载本体前端设置所述栅网；所述光电倍增管和所述光导管之间设置有至少一个滤光片。本发明通过增加滤光片以及增镀铝膜，实现降低泵浦光与杂散光源对超快扫描成像的干扰，提升图像的信噪比，获得高质量的超快电子扫描图像。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114203503 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202111468462.2 (22)申请日 2021.12.03 (71)申请人南开大学地址 30