一种稳定等离子体放电装置、控制方法和系统.pdfVIP

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2023-04-28 发布于北京
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一种稳定等离子体放电装置、控制方法和系统.pdf

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本发明公开了一种稳定等离子体放电装置、控制方法和系统，属于低温等离子体领域。包括：磁体，所述磁体位于壳体外侧，在壳体内产生与电极平面垂直的磁场，所述磁体产生的磁场方向与流经第一电极、第二电极的电流方向满足左手定则，使磁场作用力与气流推动力力大小相等、方向相反。在磁场的作用下，等离子体放电通道的位置以及长度是稳定的，放电能稳定维持在辉光放电，使放电保持稳定，避免间隙反复的击穿，因而能避免电极击穿过程的大电流所导致的诸多问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114189972 A (43)申请公布日 2022.03.15 (21)申请号 202111474003.5 (22)申请日 2021.12.02 (71)申请人华中科技大学地址