一种基于边带激励的谐振式传感器.pdfVIP

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2023-04-22 发布于四川
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一种基于边带激励的谐振式传感器.pdf

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本发明公开了一种基于边带激励的谐振式传感器，包括：MEMS谐振器和反馈控制系统，谐振器包括至少两个电极，反馈控制系统用于实现反馈闭环控制并在传感过程中自适应调整边带激励信号的频率，从而维持谐振器的自激振荡。反馈控制系统包括：第一反馈控制电路和第二反馈控制电路，第一反馈控制电路用于通过检测相位差变化来实时跟踪谐振器一阶模态的频率变化，从而解调出谐振器一阶模态的振荡幅值从而产生与振荡基频频率相等的解调参考信号；第二反馈控制电路用于通过检测振荡幅值的变化来输出边带激励信号，同时提取边带激励信号的频率信

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113917838 A (43)申请公布日 2022.01.11 (21)申请号 202111151260.5 (22)申请日 2021.09.29 (71)申请人华中科技大学地址