一种新型的光伏溅射镀膜试验机.pdfVIP

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2023-03-25 发布于四川
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一种新型的光伏溅射镀膜试验机.pdf

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本实用新型涉及光伏溅射镀膜试验机设备技术领域，公开了一种新型的光伏溅射镀膜试验机，包括机架和供气系统，所述机架的顶端中部一侧设置有真空腔体，所述真空腔体的外侧中部等距设置有三个观察窗，所述真空腔体的内侧设置有腔室，所述腔室的内壁上设置有衬板，所述腔室的内侧底部设置有基片台，所述基片台上等距设置有若干个基片。本实用新型中，通过将试验机上的四个靶与离子辅助设备均布安装在电动可上掀盖板上，相邻靶材成均匀分布，四个阴极彼此用隔板隔开，并且基片支架可连续回转，一个支架可放置多片基片，转速可通过伺服电机控制

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218666279 U (45)授权公告日 2023.03.21 (21)申请号 202223005558.8 (22)申请日 2022.11.11 (73)专利权人上海子创镀膜技术