一种用于多晶硅还原炉的启动装置.pdfVIP

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2023-03-14 发布于四川
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一种用于多晶硅还原炉的启动装置.pdf

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本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种用于多晶硅还原炉的启动装置，其包括:支撑体、微波发生器和控制机构；支撑体上设置有行走机构，用于支撑支撑体移动；支撑体上设置有机械臂；微波发生器设置在机械臂上，能够被机械臂驱动移动；微波发生器上具有发射口；发射口用于与还原炉的视镜口对应；控制机构设置在支撑体上，与微波发生器连接，用于控制微波发生器；控制机构与机械臂连接，用于控制机械臂；控制机构上设置有水管，用于冷却水的进出；水管上具有活接头；控制机构上设置气流口，用于充入空气；气流口上具有快速接头；控

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213537296 U (45)授权公告日 2021.06.25 (21)申请号 202022666166.0 (22)申请日 2020.11.17 (73)专利权人新疆大全新能源股份有限公司